簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Ching-Kong Chao".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="薄膜殘留應力"


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    薄膜殘留應力量測與數值模擬
    • 機械工程系 /95/ 博士
    • 研究生: 朱桂瑩 指導教授: 趙振綱
    • 本文探討電子束蒸鍍薄膜之殘留應力,以表面輪廓儀量測薄膜蒸鍍前後的曲率變化,再反算其殘留應力,並以有限元素進行數值模擬。首先以電子束蒸鍍機沉積鈦(Ti)薄膜在矽晶圓表面,鈦(Ti)薄膜於不相同沉積速率…
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    多層薄膜氧化鋅焦電感測器之殘留應力分析
    • 機械工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 王星強 指導教授: 趙振綱
    • 焦電薄膜感測器乃利用焦電效應,將溫度變化轉為焦電訊號。焦電感測器之焦電響應為感測器優劣之重要指標,其中影響焦電響應主要因素為焦電薄膜品質,而薄膜品質與薄膜之表面形貌、晶格結構及殘留應力等息息相關。本…
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